3. Angebote können abgegeben werden: elektronisch in Textform Anschrift zur Einreichung schriftlicher Angebote: -ENTFÄLLT- (es sind ausschließlich elektronische Angebote zugelassen).

4. Zugriff auf Vergabeunterlagen: Maßnahmen zum Schutz der Vertraulichkeit und die Informationen zum Zugriff auf die Vergabeunterlagen (§ 29 Abs. 3 UVgO):.

5. Art und Umfang sowie Ort der Leistung: Art der Leistung: Taktiles Stylus-Profilometer Menge und Umfang: 1 Stück taktiles Stylus-Profilometer zur Vermessung von Topographien und Schichtdicken an opaken Materialien mit nm-skaliger Auflösung Neben der Bestimmung von Schichtdicken der transparenten IMD-Lagen beim Delayering von ICs sind zudem die Vermessung der Dicken als auch der Topographie der nachfolgenden, metallischen Ebenen, bestehend u. a. aus Aluminium oder Kupfer, im nm-Bereich von höchster Wichtigkeit. Mittels dieser Informationen können die anschließenden, mechanischen oder trockenchemischen Präparationsmethoden für die Entfernung solcher opaker Materialien passend gewählt werden, um letztlich einen präzisen und gleichmäßigen Abtrag über der Probe als auch - im Falle einer vorherrschenden Topographie - eine Planarisierung der präparierten Chipoberfläche zu erhalten. Da die kleinste, messbare Topographie bei optischen Profilometern im Bereich von einigen µm liegt und optische Reflektometer wiederum lediglich die Schichtdicken transparenter Materialien messen können, soll ein taktiles Stylus-Profilometer beschafft werden, mit welchem Topographien und Dicken opaker Schichten ermittelt werden können. Die Vergabe soll in Form einer öffentlichen Ausschreibung nach dem Regelverfahren erfolgen. Bedarfspostion: 3.2.7 Optional: Joystick für X-Y-Bewegung 3.2.16 Optional: 1 Farbkamera mit mind. 5 MP für Seitenansicht (insbesondere zur Live-Inspektion während der Messung) zusätzlich enthalten 3.4.14 Optional: USB-Dongle für Datenauswertung an anderen Computern enthalten Ort der Leistung: Fraunhofer EMFT Hansastraße 27d 80686 München Deutschland Produktschlüssel: 42990000-2.

6. Losaufteilung: Losweise Vergabe: Nein Angebote sind möglich für: die Gesamtleistung.

7. Nebenangebote sind nicht zugelassen.

8. Etwaige Bestimmungen über die Ausführungsfrist: Beginn der Ausführungsfrist: Ende der Ausführungsfrist: Bemerkung zur Ausführungsfrist: Gewünschter Liefertermin: 01.03.2023 spätestens zum 01.06.2023.

9. Elektronische Adresse, unter der die Vergabeunterlagen abgerufen werden können oder die Bezeichnung und die Anschrift der Stelle, die die Vergabeunterlagen abgibt oder bei der sie eingesehen werden können: unter (URL:) Internet: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-18458087a65-7baa92136acad204 Weitere Auskünfte erteilen/erteilt Siehe oben Stelle zur Anforderung der Vergabeunterlagen: Siehe oben Anschrift der Stelle, bei der die Vergabeunterlagen eingesehen werden können: Siehe oben.

10. Ablauf der Angebots- und Bindefrist: Angebote sind einzureichen bis: 08.12.2022 10:00 Ablauf der Bindefrist: 19.01.2023.

11. Höhe der etwa geforderten Sicherheitsleistungen:.

12. Wesentliche Zahlungsbedingungen: Siehe Verdingungsunterlagen.

13. Ggf. mit dem Angebot vorzulegende Unterlagen zur Eignungsprüfung des Bewerbers: Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien unter (URL): Internet: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18458087a65-7baa92136acad204.

14. Angabe der Zuschlagskriterien: Der niedrigste Preis Nein Wirtschaftlich günstigstes Angebot in Bezug auf die nachstehenden Kriterien: 1 Preis (35 %), 2 Technische Ausführung des Produktes - der DL/tech. product/service features (55 %), 3 Verbindliche Lieferzeit/binding delivery period (10 %).

15. Sonstiges:

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Veröffentlichung

Geonet Ausschreibung 47842 vom 15.11.2022